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Al2O3涂层由于具有较好的阻氚渗透效果可用作聚变堆第1壁涂层。利用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面进行渗Al后热氧化处理,得到了致密的Al2O3涂层。对渗Al层的成分和形貌分别利用X射线衍射分析仪和扫描电子显微镜进行了分析和观察。结果表明：双层辉光离子渗金属技术能够制备出均匀致密、与基体结合良好的渗Al层。在316L不锈钢表面渗Al的最佳工艺参数条件下,获得的渗Al层经随后的热氧化处理,可形成质量良好的致密Al2O3涂层。