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电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究
电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究
来源 :工程热物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gtrfanfan
【摘 要】
:
本文提出了喷嘴沿被加热物体宽度方向往复移动式射流冲击加热方法,该加热方法可提高被加热物体的等温性.通过进行数值模拟,得到了在任意时刻,被加热物体的温度分布及全体计算
【作 者】
:
赵耀华
刘志刚
鹤田隆治
【机 构】
:
中国科学院工程热物理研究所,九州工业大学机械系
【出 处】
:
工程热物理学报
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
射流冲击
均匀加热
微电子制造
impinging jet uniform heating method manufacture of micro-electr
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本文提出了喷嘴沿被加热物体宽度方向往复移动式射流冲击加热方法,该加热方法可提高被加热物体的等温性.通过进行数值模拟,得到了在任意时刻,被加热物体的温度分布及全体计算时间内被加热物体表面平均温度分布,进而得到了喷嘴移动周期与被加热物体的等温性的关系.
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