一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mcx1988929
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提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进行了实验研究.结果表明,微工作台体积小(20 mm×10 mm×3 mm),可实现6 nm的精确定位,最高驱动速度可达5.4 mm/s,最大行程可达20 mm. A precise positioning linear micro-workbench based on the principle of smooth impact drive is proposed.The micro-workbench’s stability is improved by using tiny strong magnets as the friction element to reduce the frictional force caused by the wear of the friction element The prototype of the micro table is designed and manufactured, and the dynamic characteristics and static characteristics of the precision positioning table are studied experimentally.The results show that the micro table size is small (20 mm × 10 mm × 3 mm) Accurate positioning, the maximum drive speed up to 5.4 mm / s, the maximum stroke up to 20 mm.
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