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石墨衬底上可以沉积出晶体取向性较强的(220)织构的金刚石膜,这种金刚石膜的热导率高、断裂强度大;石墨衬底上沉积金刚石形核致密、速度快;石墨上沉积的金刚石膜纹理缺陷少.对石墨衬底的这些优势做了比较详尽的分析.
石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
【摘 要】
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石墨衬底上可以沉积出晶体取向性较强的(220)织构的金刚石膜,这种金刚石膜的热导率高、断裂强度大;石墨衬底上沉积金刚石形核致密、速度快;石墨上沉积的金刚石膜纹理缺陷少.
【机 构】
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河北省激光研究所
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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2005年1期
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