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本文以一个利用Triple RESURF结构实现的新型高压SOI P-LDMOS器件的实例来具体说明如何利用TCAD工具MEDICI对已知的器件结构进行仿真，并根据性能需要优化器件相关参数。
基于MEDICI的新型高压SOIP—LDMOS的仿真优化
【摘 要】
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本文以一个利用Triple RESURF结构实现的新型高压SOI P-LDMOS器件的实例来具体说明如何利用TCAD工具MEDICI对已知的器件结构进行仿真，并根据性能需要优化器件相关参数。
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2014年6期
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