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对高能磷离子注入硅、低剂量迭加注入硅，高能低能双注入硅中引起的晶格损伤、二次缺陷及退火效应进行了初步探讨。
高能磷离子注入硅晶格的损伤初探
【摘 要】
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对高能磷离子注入硅、低剂量迭加注入硅，高能低能双注入硅中引起的晶格损伤、二次缺陷及退火效应进行了初步探讨。
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所,北京有色金属研究总院
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1995年9期
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