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阐述了离心式中心喷雾显影工艺技术在精细图形制作中的重要性,实验装置、工作原理、工艺参数选择、实验结果以及在制版中的应用实例。
喷雾显影技术在亚微米制版中的应用研究
【摘 要】
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阐述了离心式中心喷雾显影工艺技术在精细图形制作中的重要性,实验装置、工作原理、工艺参数选择、实验结果以及在制版中的应用实例。
【机 构】
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机电部第十三研究所石家庄050051
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年2期
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