【摘 要】
：
化学机械平坦化(Chemical mechanical planarization,CMP)是集成电路制造的关键技术之一。晶圆夹持器是CMP系统的核心零部件。为研究万向球头位置对平坦化过程中晶圆姿态瞬态
【机 构】
：
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连海事大学机械工程系,中国电子科技集团公司第四十五研究所
论文部分内容阅读
化学机械平坦化(Chemical mechanical planarization,CMP)是集成电路制造的关键技术之一。晶圆夹持器是CMP系统的核心零部件。为研究万向球头位置对平坦化过程中晶圆姿态瞬态调整能力的影响,采用混合软弹流润滑模型分析抛光垫表面的流动与接触行为,并结合夹持器的瞬态运动方程分析晶圆姿态的动态变化过程。分析结果表明,夹持器姿态的调整能力随万向球头的中心高度增加而提高,摩擦力矩的增加有利于晶圆姿态稳定在平衡位置,但同时接触应力不均匀性增加。因此,合理设计夹持器结构对CMP加工质量非常重要,提出的瞬态混合润滑模型对夹持器的动态特性进行分析可以为设计提供非常有意义的理论指导。
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
从导电纤维和含导电纤维抗静电织物消除静电的过程和机理分析入手，对不同导电纤维配置方式的抗静电织物带电量对比数据进行了分析比较，从织物的组织结构、几何结构相和生产实践
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
以利福霉素SV自身耐受性菌株为出发菌株，经HNO2＋UV和HNO2＋UV＋Licl分别复合诱变后，获得两株变异菌株。结果表明：其发酵单位大幅度提高，较出发菌株分别提高了17．8％和15．1％．并且其遗传稳定性
目的:采用雄激素受体拮抗剂氟他胺建立小鼠尿道下裂的动物模型,为进一步研究尿道下裂时小鼠睾丸组织形态及生精功能的变化提供理论及实验依据。方法:购7-8周龄BALB/c小鼠60只
在建筑工程的建设过程中,抹灰工程作为装饰与装修工程的一个分项工程,其主要有防护作用和美化作用,在房屋建筑工程中起着重要作用,也是体现房屋建筑工程施工技术的重要指标。
“西”“北”为阴地，而妇女不孕的一个重要原因就是阴气不足，因此“西”“北”能够滋补妇人阴气，利于怀孕生子。“西”“北”与“水”、“云雨”有密切的关联，“水”为生命之本，而
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield