论文部分内容阅读
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器（LCD）产业的光刻制程中。由于TMAH的用途广泛，对于其中杂质含量的分析至关重要。在SEMI CA6～03061标准中明确给出了25％（质量分数，下同）的TMAH中杂质含量的限值，
带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵
【摘 要】
：
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器（LCD）产业的光刻制程中。由于TMAH的用途广泛，对于其中杂质含量的分析至关
【机 构】
：
珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处
【出 处】
：
岩矿测试
【发表日期】
：
2009年6期
其他文献
对利用 GPS位置和 INS的姿态来快速纠正同步获得的红外遥感扫描图像进行了试验研究 ,依据 GPS测量的三维位置、INS给出的三个姿态和地面的平均高度来推算出一个扫描行上图像像元点的坐标 ,依此纠正该扫描行的图像 ,并进行灰度的内插和航带的联合拼接处理 .通过飞行所获取数据的快速处理 ,说明本方法是可行的
提出了一种新的综合源编码和信道编码的图像编码传输方案,对子波变换后各个子带采用基于统计特性的变系数定长(VCFL)编码后选择不同码率的RCPC(码率兼容的删除卷积码,Rate Co
以详细的岩相研究为基础,利用岩相的垂向叠置关系,结合测井、有机地球化学、沉积特征、矿物学特征、元素地球化学等分析,将中、上扬子下志留统龙马溪组划分为2个具有完整海侵
根据静磁表面波的基本理论建立了静磁表面波带通滤波器的设计模型,以实用化的静磁表面波带通滤波器为目标,重点考虑了静磁表面波带通滤波器的中心频率与带宽控制问题.依据模
学术界多认为南朝士人几无忠君观念,文章通过史料钩沉,认为由于传统儒家忠孝伦理的惯性作用、士人个人自我人生价值的追求、社会舆论导向作用及统治者的倡导等原因,一部分士
所有权与经营权分离之后,人们对股权结构与绩效的研究就一直没有停止过。该课题的基础理论依据是产权经济学、企业理论中的委托代理理论和不完全成本理论,但新理论的出现和发
分析并建立了汽车底盘测功机测控系统数学模型，引入模糊推理机制自整定PID参数的方法，对室内模拟汽车道路行驶阻力的过程进行改进，利用仿真对该系统的阶跃输入进行响应，并给出了
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield