【摘 要】
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本文探讨了红外衬底碲锌镉材料晶片在化学抛光后的去蜡、去胶工艺的自动化流程实现方案.由于红外衬底材料的脆弱特性,以六轴机器人为搬运载体、石油醚浸泡槽、石油醚喷笔、丙
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024
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本文探讨了红外衬底碲锌镉材料晶片在化学抛光后的去蜡、去胶工艺的自动化流程实现方案.由于红外衬底材料的脆弱特性,以六轴机器人为搬运载体、石油醚浸泡槽、石油醚喷笔、丙酮乙醇喷笔作为工具,以石油醚浸泡、背面石油醚喷笔喷洗、翻片、正面石油醚喷洗、正面丙酮喷洗、正面乙醇喷洗、正面烘干的全流程清洗方式,脱离了喷笔喷洗的人工干预,实现了统一流程、高效清洗的自动化方案,兼容多种规格、多种清洗方式,且模块式编程方式易于增加清洗工艺.具体介绍了各个清洗工序,在每个工序中的清洗控制方案的实现,当前该控制方案已成功应用于此类清洗设备.
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