【摘 要】
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以氢气和正硅酸乙酯为反应源,采用前驱体裂解的方法在硬质合金基体上制备非晶SiO2（a-Si O2）薄膜。X射线衍射（XRD）分析表明,非晶薄膜与基体发生反应,并在界面上形成硅钴化合物。此
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室
【基金项目】
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Project（20130073110036）supported by the Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China
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以氢气和正硅酸乙酯为反应源,采用前驱体裂解的方法在硬质合金基体上制备非晶SiO2（a-Si O2）薄膜。X射线衍射（XRD）分析表明,非晶薄膜与基体发生反应,并在界面上形成硅钴化合物。此外,透射电镜（TEM）表征表明,该薄膜由微米级的空心球团状的非晶SiO2颗粒构成。随后,将非晶SiO2薄膜作为过渡层,采用热丝化学气相沉积技术在过渡层上沉积金刚石涂层。通过压痕试验表征制备获得的金刚石-非晶SiO2复合涂层对硬质合金基体的附着力。通过加工玻璃丝纤维增强塑料（GFRP）表征该复合涂层的切削性能。结果表明,非晶
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