放电激励的100W XeCl准分子激光器

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介绍一台放电泵浦的XeCl准分子激光器。其最大单脉冲能量550mJ,在280Hz工作时输出功率达106W A discharge-pumped XeCl excimer laser is introduced. The maximum single-pulse energy 550mJ, 280Hz output power at work when the 106W
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