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介绍了一种高精度石英谐振式力传感器，对敏感器件——谐振器、膜片及力传递系数进行了研究、设计与计算，从理论到实验对传感器的稳定性进行了研究，指出增加谐振器厚度及改善谐振器支撑条件均可提高传感器的稳定性和临界载荷。
石英谐振式力传感器及其稳定性的研究
【摘 要】
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介绍了一种高精度石英谐振式力传感器，对敏感器件——谐振器、膜片及力传递系数进行了研究、设计与计算，从理论到实验对传感器的稳定性进行了研究，指出增加谐振器厚度及改善谐振
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年11期
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