【摘 要】
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<正> 长光栅的核心部件是由标尺光栅和指示光栅组成的光栅副。装有指示光栅的读数头将光栅的位移转换成近似正弦的莫尔条纹的光电信号,经电路处理后用于精密机械运动的控制定
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<正> 长光栅的核心部件是由标尺光栅和指示光栅组成的光栅副。装有指示光栅的读数头将光栅的位移转换成近似正弦的莫尔条纹的光电信号,经电路处理后用于精密机械运动的控制定位或测量。光栅副的间隙及相对位置的偏差影响莫尔条纹的信号质量,故在安装读数头时,若指示光栅相对于标尺光栅在x向作测量位移。需对其余五个自由度(即Δz——光栅副间隙,Δy——指示光栅在y方向的平移,Δα、Δβ——光栅副平行性偏差,Δy——光栅刻线夹角偏差,见图1) 根据示波器上的波形图进行仔细地调整,只有当调整合适时才可将读数头锁紧。
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