【摘 要】
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在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶
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在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺;采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术.这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期,降低了成本,提高了微泵综合性能.
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