微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

来源 :测试技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinglink

【摘要】

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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基

【作者】

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周兆英杨兴熊继军

【机构】

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清华大学精密仪器系

【出处】

：

测试技术学报

【发表日期】

：

2002年z2期

【关键词】

：

微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 微米纳米技术

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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.

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