【摘 要】
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微电机是微机电系统 (MEMS)的核心 ,超声微电机是一个新的发展方向 ,这几年发展十分迅速 .首先对比分析超声微电机与电磁型微电机和静电微电机的区别 ,对国内外现有的几种超
【机 构】
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浙江大学电气工程学院; 浙江科技学院机电工程系; 浙江大学电气工程学院 浙江杭州310027; 浙江杭州310012; 浙江杭州310027;
【基金项目】
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国家“8 6 3”计划 (航天领域 )资助项目 (86 3- 2 - 2 - 4 - 6 A) ;国家博士点基金资助项目 (2 0 0 0 0 0 335 3)
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微电机是微机电系统 (MEMS)的核心 ,超声微电机是一个新的发展方向 ,这几年发展十分迅速 .首先对比分析超声微电机与电磁型微电机和静电微电机的区别 ,对国内外现有的几种超声微电机及其发展趋势进行了介绍和分析 ,指出目前超声微电机发展存在研究定位不明和关键技术尚未完全解决两大问题 ,并提出了今后超声微电机发展的研究定位和必须解决的一些关键技术 ,其应用重点是军民两用 ,特别是军工 .最后 ,指出市场牵引和工程实现是超声微电机取得突破的关键因素的同时 ,政府、产业和研究单位各方面的重视和形成合力则是推进我国超声微电机研究和产业化的关键 .
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