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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了过渡金属元素与F共掺杂Zn(0.98-x) TMx F(0.02)O(TMx=Cu(0.02),Ni(0.01),Mn(0.05),Fe(0.02),Co(0.05))薄膜,进而利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见透过谱、光致发光及振动样品磁强计等研究了薄膜的表面形貌、微结构、禁带宽度及光致发光(PL)和室温磁学特性.研究表明:掺杂离子都以替位的方式进入了ZnO晶格,掺杂不会破坏ZnO的纤锌矿结构.其中Zn(0.93)Co(0.05)F(0.02)O薄膜样品的颗粒