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研究了PMMA膜的成膜方法、成膜特性以及作为气敏材料的应用。实验结果表明,PMMA的表面粗糙度与转速密切相关,转速越大,表面粗糙度越小。PMMA的膜厚符合液体动力学方程,旋涂速度越大,膜厚越薄。当旋涂速度为6000rpm时,可得到厚度为42nm的PMMA膜,完全符合气敏材料对膜厚的要求。
PMMA成膜特性的研究
【摘 要】
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研究了PMMA膜的成膜方法、成膜特性以及作为气敏材料的应用。实验结果表明,PMMA的表面粗糙度与转速密切相关,转速越大,表面粗糙度越小。PMMA的膜厚符合液体动力学方程,旋涂速
【机 构】
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安庆新曙光精细化工有限公司
【出 处】
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安徽化工
【发表日期】
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2011年04期
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