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探测效率是X射线光电子能谱仪一个很重要的仪器参数。本文提出了两种测量谱仪探测效率的方法，并对国产的NP-1A型XPS谱仪的探测效率进行了测量。根据谱仪的探测效率曲线可以对原子灵敏度因子进行定标，这对于XPS定量分析具有很重要的应用价值。
X射线光电子能谱仪探测效率的研究
【摘 要】
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探测效率是X射线光电子能谱仪一个很重要的仪器参数。本文提出了两种测量谱仪探测效率的方法，并对国产的NP-1A型XPS谱仪的探测效率进行了测量。根据谱仪的探测效率曲线可以对
【机 构】
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东北大学,本溪冶金专科学校
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年期
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