单晶硅表面无掩膜极微细加工成形的研究

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hngscg

【摘要】

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对单晶硅表面进行极微细加工中,直接用摩擦力显微镜机构(FFM)进行机械加工,然后用KOH溶液对加工基片腐蚀,发现被加工部位能形成凸台,对影响凸台成形的各种因素进行了试验研究

【作者】

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【机构】

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广东番禺理工学院511483,武汉江汉大学430056

【出处】

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新技术新工艺

【发表日期】

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2003年5期

【关键词】

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对单晶硅表面进行极微细加工中,直接用摩擦力显微镜机构(FFM)进行机械加工,然后用KOH溶液对加工基片腐蚀,发现被加工部位能形成凸台,对影响凸台成形的各种因素进行了试验研究,并介绍了这种新式成形工艺的应用实例.

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