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从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.
实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响
【摘 要】
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从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子
【机 构】
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清华大学材料系先进材料教育部重点实验室清华大学材料与工程系(北京)
【出 处】
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中国真空学会薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2003年9期
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