不同晶态比条件下氢化纳米硅薄膜光学性质的研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huhaiyan1953
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用等离子体化学气相沉积系统,在射频源和直流负偏压源的双重激励下,保持射频功率、反应室气压、衬底温度、硅烷与氢气混合比以及总流量不变,改变直流负偏压从50~250V,在康宁7059玻璃衬底上制备了本征氢化纳米硅薄膜。利用拉曼散射仪表征了不同直流负偏压条件下薄膜微结构特征;利用Shmadzu UV-2450型光谱仪测试了薄膜样品透射图谱。研究发现提高直流负偏压将导致晶态比、沉积速率发生变化。薄膜的光吸收系数和消光系数随波长增加呈下降趋势;不同晶态比薄膜的悬挂键和有效载流子浓度、致密程度、键畸变程度和悬挂键数
其他文献
本文报导我国沿海革囊星虫属共计14种,内有3种P.onomichianum;P.formosense和P.iaponicum分布在台湾省。陈义(1963年)曾记述过海南岛的9种,其中有3种是同物异名。分布在我国
在万能工具显微镜上可借测长牙厚来决定螺纹中径,这方法的根据是螺牙厚度跟中径螺距及牙廓半角有着函数的关系,所以如果螺距S、半角(?)为已知,则测得牙厚就可决定中径。我们
期刊