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本文首先指出研究多芯片组件用薄膜多层互连技术的必要性,然后对此类薄膜多层互连的材料、结构及工艺进行详细介绍,最后举例说明它在多芯片组件中的应用情况。
多芯片组件用薄膜多层互连技术
【摘 要】
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本文首先指出研究多芯片组件用薄膜多层互连技术的必要性,然后对此类薄膜多层互连的材料、结构及工艺进行详细介绍,最后举例说明它在多芯片组件中的应用情况。
【机 构】
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机电部第43研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1990年5期
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