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六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。
高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展
【摘 要】
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六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。
【机 构】
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上海化工研究院有限公司,上海三爱富新材料科技有限公司
【出 处】
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有机氟工业
【发表日期】
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2020年2期
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