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建设了一基于复旦大学2×3 MV串列加速器的单粒子微束装置。离子束经分析磁铁30°水平偏转传输后再经90°偏转磁铁竖直上行至辐照终端，以内径1.5μm的毛细玻璃管微准直器获取离子微束。采用薄膜闪烁体结合光电倍增管的探测结构对微束离子进行精确探测和计数，并以高压静电偏转开关快速关断束流以实现对离子数目的精确控制。目前实验已获得在质子能量为3 MeV时，能散（能量分布曲线中半高宽FWHM ）＜60 keV、束分辨＜2.2μm、定量照射精度＞95％的质子微束。本文对复旦大学单粒子微