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本文讨论了以球面波干涉原理测量不透明板平行度的方法。技术较简单,但测量精度较高,并可在生产车间使用。
以球面波干涉原理测量不透明板的平行度
【摘 要】
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本文讨论了以球面波干涉原理测量不透明板平行度的方法。技术较简单,但测量精度较高,并可在生产车间使用。
【机 构】
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南开大学物理系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1984年4期
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