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化学蒸汽免职(CVD ) 原文如此在 H <sub>2</sub> 的二不同臼齿的比率从 methyltrichlorosilane (山) 被学习到山(n (H <sub>2</sub>)/n(MTS)) 。当 100 kPa 和温度在 1 s 的一全部的住处时间从 850 ～ 1 100 ° C 被改变，全部的压力被保留。不变的免职被评为反应堆长度并且温度的函数，在不同 n 调查了(H <sub>2</sub>)/n(M