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攀升良品率学习曲线
攀升良品率学习曲线
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ironfeet
【摘 要】
:
<正> 伴随着半导体生产的复杂程度和工艺要求的进一步发展以及芯片制造工厂投资的步步攀升,良品率提高在半导体生产过程中越来越得到重视。本文就从这种趋势的引领下,对良品
【作 者】
:
尹娟毅
李振林
【机 构】
:
摩托罗拉MOSl7厂
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2003年53期
【关键词】
:
半导体生产工艺
良品率
物理缺陷
缺陷检查
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<正> 伴随着半导体生产的复杂程度和工艺要求的进一步发展以及芯片制造工厂投资的步步攀升,良品率提高在半导体生产过程中越来越得到重视。本文就从这种趋势的引领下,对良品率提高面临的机会和挑战进行简单的分析。良品率(或称成品率),顾名思义就是整个工艺
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