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氯甲基三氯硅烷（ＣｌＣＨ２ＳｉＣｌ３）是以一甲基三氯硅烷（ＣＨ３ＳｉＣｌ３）为原料，在光的催化经氯化而成。本方法采用Ｃｌ２为氯化剂，在可见光（白炽灯）催化下，气相法合成ＣｌＣＨ２ＳｉＣｌ３。研究了光源特性（如光源强度，波长）及反应器材质对光氯化反应的影响，从而确定了氯化反应所需要的能量及反应参数，并且从理论上对反应机理、特性进行了论述。