【摘 要】
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声表面波SAW（Surface Acoustic Wave）器件能进行无源无线通信,为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路。研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器。围
【机 构】
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上海工程技术大学电子电气工程学院,东华大学信息科学与技术学院
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声表面波SAW（Surface Acoustic Wave）器件能进行无源无线通信,为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路。研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器。围绕微间隙环境,研究了声表面波器件的结构类型,并确定压力监测的技术方案;根据设计原理,设计一种新型声表面波传感器,并利用有限元分析法对压电基片进行应力仿真;将设计出的传感器进行实验测试并提出温度补偿。通过对声表面波传感器设计的探究,验证了利用声表面波传感器实现微间隙压力监测的可行性。
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