【摘 要】
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电子与固体相互作用是现代表面分析技术如SEM、EPMA及SAM等的物理基础。入射电子能量为几个keV或更低时,描述中能电子弹性散射的Rutherford截面不适用,需应用更为严格的量子
【机 构】
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山东工业大学电力系; 中国科学院上海硅酸盐研究所 济南 250014; 上海 200050;
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电子与固体相互作用是现代表面分析技术如SEM、EPMA及SAM等的物理基础。入射电子能量为几个keV或更低时,描述中能电子弹性散射的Rutherford截面不适用,需应用更为严格的量子力学分波法(PWM)。分波法计算电子弹性散射截面有解非相对论Schrodinger方程的pendry截面以及解相对论Dirac方程的Mott截面,但关于Mott截面的计算方法鲜见报导,且计算分析Mott截面、pendry截面及Rutherford截面之间的差异对描述低能电子在固体中散射物理过程十分重要。本文给出一个计算Mott截面的方法,由引入一变换使散射截面中相移计算由解复杂的Dirac方程转化为解一简单的一阶方程,应用Thomas—Fermi—Dirac(TFD)势函数,导出初值及相移计算式。计算过程如下
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