【摘 要】
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采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽（FWHM）、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度（EPD）技术对开管变温热处理前后的液相外延（LPE）Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究。变温循环热处理能
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采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽（FWHM）、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度（EPD）技术对开管变温热处理前后的液相外延（LPE）Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究。变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法。
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