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采用磁控溅射法在高速钢（HSS）基片上制备了氮化碳（CNx／TiN）复合薄膜，并采用球-盘式摩擦试验法对其摩擦学性能进行了研究。通过分析薄膜的摩擦系数变化曲线，并辅之以薄膜摩擦表面形貌的显微观察分析以及EDS微区成分分析，对薄膜的摩擦学性能进行了表征。结果表明，CNx／TiN复合薄膜与对偶球（Si3N4）之间的摩擦系数约为0．3。具有较好的减摩性能，但复合薄膜的耐磨性能受制备工艺的影响较大。沉积合适的TiN／Ti过渡层可以显著提高薄膜的耐磨性能。薄膜的磨损机理主要为磨粒磨损与黏着磨损以及疲劳磨损相互结合。