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综述了近几年国内外超磁致伸缩单层膜、多层膜的研究进展；介绍了超磁致伸缩薄膜的制备方法与性能表征；论述了TbDyFe单层薄膜的磁致伸缩和磁学性能以及其成分、应力、热处理、衬底温度等性能的影响因素；详述了超磁致伸缩多层膜组成和结构类型；讨论了热处理、磁场诱导和单层膜厚对多层膜在低场下磁致伸缩和磁学性能的影响，评述和展望了超磁致伸缩薄膜的国内外研发应用现状和发展趋势。