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提出了贝叶斯网络技术在故障诊断中的一种应用，介绍了基于贝叶斯网络的故障诊断技术的基木概念和原理，分析了故障节点和维修节点之间相互作用的关系。应用GeNIe决策系统软件，以PECVD淀积台的真空系统为例，讲述了贝叶斯网络在半导体工艺设备故障诊断中的应用。
基于贝叶斯网络的PECVD故障诊断技术
【摘 要】
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提出了贝叶斯网络技术在故障诊断中的一种应用，介绍了基于贝叶斯网络的故障诊断技术的基木概念和原理，分析了故障节点和维修节点之间相互作用的关系。应用GeNIe决策系统软件，以P
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年3期
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