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对微细加工工艺中常用的三种套准方法做了详细的分析比较，并着重分析了最近发展起来的利用图像间的相关性实现套准的相关法，它能达到较高的套准精度，并具有一些独到的特点。
微细加工中的自动套准技术
【摘 要】
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对微细加工工艺中常用的三种套准方法做了详细的分析比较，并着重分析了最近发展起来的利用图像间的相关性实现套准的相关法，它能达到较高的套准精度，并具有一些独到的特点。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年5期
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