【摘 要】
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在高功率激光的诱导下,光学薄膜元件吸收激光能量从而使能量聚积继而产生热能,导致薄膜内的温度急剧升高。局部温度上升使得薄膜内部产生热应力。热和力的相互转化、相互作用
【基金项目】
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国家自然科学基金（51378050）, 陕西省科技计划（2016kw-036）资助项目
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在高功率激光的诱导下,光学薄膜元件吸收激光能量从而使能量聚积继而产生热能,导致薄膜内的温度急剧升高。局部温度上升使得薄膜内部产生热应力。热和力的相互转化、相互作用最终导致薄膜层的熔化、破裂等破坏。从热力学理论出发,建立了单层薄膜内部温度场模型,利用积分变换法求解并获得了温度场数值分布,用Matlab对温度场的分布进行了仿真,得到薄膜任意时刻在厚度方向及半径方向的温度分布。结果表明,所获得的数值解准确反映了激光诱导光学薄膜所造成的温度效应,为薄膜设计与制备以及激光薄膜损伤识别研究提供了理论基础和依据。
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