【摘 要】
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公开号 ＣＮ１２０４６９８Ａ 申请人 国际商业机器公司 地址 美国纽约州 公开了气相淀积的ＢＡＲＣ和制备基于非晶碳薄膜的可调且可去除的抗反射涂层的方法。这些薄膜可以是氢化的、氟化的、
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公开号 ＣＮ１２０４６９８Ａ 申请人 国际商业机器公司 地址 美国纽约州 公开了气相淀积的ＢＡＲＣ和制备基于非晶碳薄膜的可调且可去除的抗反射涂层的方法。这些薄膜可以是氢化的、氟化的、氮化的碳薄膜。该薄膜具有在ＵＶ和ＤＵＶ波长，具体地３６５、２４８和
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