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期刊论文
深亚微米飞高测量的光电检测系统设计
深亚微米飞高测量的光电检测系统设计
来源 :电测与仪表 | 被引量 : 25次 | 上传用户:sinohydromusc
【摘 要】
:
基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面。性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求。
【作 者】
:
王亮
李玉和
李庆祥
陈张玮
【机 构】
:
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
:
电测与仪表
【发表日期】
:
2006年03期
【关键词】
:
高测量
近场光存储
光电检测
微弱信号
flying height measuringnear-field light storageoptoelectroni
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基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面。性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求。
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