【摘 要】
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日本特公昭61-054871B。通过进口分别把烃和氩气引入双等离子体发射器,使烃和氩的体积混合比保持2～5,形成30～90%烃部分分解的离子束。在真空中用这种离子束照射带电电压为-200
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日本特公昭61-054871B。通过进口分别把烃和氩气引入双等离子体发射器,使烃和氩的体积混合比保持2～5,形成30～90%烃部分分解的离子束。在真空中用这种离子束照射带电电压为-200～1000V 的基体表面,生成硬的碳质涂层。基体为切削工具,导板或耐磨模具。
Japanese Patent Publication No. S61-054871B. Hydrocarbon and argon are separately introduced into the dual plasma emitter through the inlet so that the volume mixing ratio of hydrocarbon and argon is maintained at 2 to 5 to form a partially decomposed ion beam of 30 to 90% of the hydrocarbons. This ion beam is used to irradiate a substrate surface with a charged voltage of -200 to 1000 V in a vacuum to form a hard carbonaceous coating. Matrix for cutting tools, guides or wear-resistant mold.
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