【摘 要】
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利用射频磁控溅射技术,在传导的钙钛矿型的LaNiO3电极上生长了（Ba,Sr）TiO3薄膜。为了研究生长温度对（Ba,Sr）TiO3薄膜结晶程度的影响,沉积过程中选择了100℃-700℃的衬底温度。在3
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利用射频磁控溅射技术,在传导的钙钛矿型的LaNiO3电极上生长了（Ba,Sr）TiO3薄膜。为了研究生长温度对（Ba,Sr）TiO3薄膜结晶程度的影响,沉积过程中选择了100℃-700℃的衬底温度。在300℃的较低生长温度时,薄膜由无定型相开始转变为多晶相;当生长温度增加到500℃以上时,薄膜呈现出高度的（h00）取向。利用扫描电子显微镜（SEM）,可以看到在600℃时,薄膜的表面形貌光滑而且致密。另外,随着生长温度的提高,薄膜的相对介电常数（rε）因为结晶性的改善快速增大;在500℃以上时增加得比较小。
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