论文部分内容阅读
化学机械抛光(CMP)已成为公认的纳米级全局平坦化精密超精密加工技术。抛光液在CMP过程中发挥着重要作用。介绍了CMP过程中抛光液的作用的研究进展,综合归纳了抛光液中各组分的作用,为抛光液的研制和优化原则的制定提供了参考依据。
化学机械抛光过程抛光液作用的研究进展
【摘 要】
：
化学机械抛光(CMP)已成为公认的纳米级全局平坦化精密超精密加工技术。抛光液在CMP过程中发挥着重要作用。介绍了CMP过程中抛光液的作用的研究进展,综合归纳了抛光液中各组分
【机 构】
：
广东工业大学机电工程学院
【出 处】
：
金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
：
2012年01期
其他文献
医护人员的健康状况与医疗服务质量密切相关。当前，医护人员长时间处于超负荷工作状态，加之医院工作环境的特殊性，其健康现状不容乐观，因此关注医护人员的健康状况尤为重要。健康
<正>集团企业是由若干企业通过资本结合而形成的企业集合体,随着市场经济的发展和企业参与国际竞争程度的日益加深,中国市场上,集团企业成为一种重要的经济主体。集团化财务
在机遇与挑战并存的时代,中国中小企业如何在大型跨国公司如林的市场上占有一席之地是一项诱人却又艰难的事。文章对中国中小企业跨国经营的优势、劣势逐一分析,进而提出具有
<正>高效课堂一直是我们积极探究的一种课堂教学理念,也是每一位老师的课堂教学追求。可在实际教学中,许多教师都一味地追求华丽的教学表象、热闹的教学氛围……笔者认为,高
本论文研究了饲料中添加谷胱甘肽(Glutathione, GSH)对吉富罗非鱼(GIFT Oreochromis niloticus)生长性能、组织生化指标、非特异性免疫相关酶活性、抗氧化酶活性、总抗氧化能
目的精索静脉曲张患者分别接受三种不同的手术方式（腹膜后精索静脉高位结扎术、腹腔镜下精索静脉结扎术、显微镜下精索静脉结扎术）后，对其手术时间、术后住院时间、术后早期症状
[目的]1.通过科学遴选预警项目、构建信息化平台、建立临床反馈机制等措施,优化系统流程设计,建立医院检验危急值预警防控系统及运行模式,并对实施效果进行评价,为系统持续改
在科学用能的基础上,地表浅层热能具有环保、节能和可再生的特点。近年来,地源热泵空调系统由于其高效节能性,受到越来越多的关注。传统中央空调系统,特别是冷水机组中水泵能
分别以蒸馏水及不同浓度的高氟水（含氟量分别为２５、５０、１００、１５０ｍｇ／Ｌ）喂养小白鼠，１２天后发现饮用含氟１５０ｍｇ／Ｌ水的小白鼠巨噬细胞吞噬能力下降（Ｐ〉０．００１），表现为活化的巨噬细胞百分率由２３．６７％降为１１．６７％，其余各组小白鼠细胞吞噬