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通过正交试验优化了微弧氧化制备表面形貌较好、粗糙度较小的BaTiO3薄膜的工艺参数,对最优工艺参数下制备的薄膜进行了表征,并研究了溶液浓度、电流频率、电流密度和反应时间对薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明：在最优工艺条件下（Ba（OH）2溶液浓度0.5mol/L、电流频率100Hz、电流密度2.0 A/cm2、反应时间5 min）,所得薄膜主要由四方相BaTiO3组成,其在1kHz下的介电常数为113.0;随着溶液溶度和电流频率（150Hz以下）的增加、电流密度的减小、反应时间的缩短,薄膜表面变得平