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<正> 对于试验型或实验室的管子排气来说,通常考虑压强低到10-8已够用了。用上面已经叙述过的方法可以达到这样的要求。然而,对于某些工作,要求压强再低几个数量级。使用油扩散泵的系统,其限制因素是存在着油蒸汽。任凭如何广泛并周到地使用冷阱,仍然有某些油蒸汽返回到系统的高真空部
超高真空
【摘 要】
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<正> 对于试验型或实验室的管子排气来说,通常考虑压强低到10-8已够用了。用上面已经叙述过的方法可以达到这样的要求。然而,对于某些工作,要求压强再低几个数量级。使用油扩
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2004年期
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