【摘 要】
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一种新型高速收集的晶片取样器日本横河电机与日本电气公司（ＮＥＣ）共同研究，最近开发了一种不接触而可以高速收集半导体晶片上粒子（微粒子）的晶片取样器，型号为“ＷＳ１０００”。ＷＳ１０００是通过采用从极细的
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一种新型高速收集的晶片取样器日本横河电机与日本电气公司（ＮＥＣ）共同研究，最近开发了一种不接触而可以高速收集半导体晶片上粒子（微粒子）的晶片取样器，型号为“ＷＳ１０００”。ＷＳ１０００是通过采用从极细的双层管喷嘴喷出的空气，吸收浮于晶片上的粒子，能边...
A New Type of High-Speed Collecting Chip Sampler Yokogawa of Japan, in collaboration with NEC, recently developed a wafer sampler that is capable of collecting particles (particles) on a semiconductor wafer at high speed without touching, model number “WS1000 ”. WS1000 absorbs the particles floating on the wafer by using the air sprayed from the very fine double tube nozzle.
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