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采用电感偶合等离子体分析技术,通过优化电感偶合等离子体光谱仪的工作参数、分析条件,选取仪器最佳分析参数和分析条件,以HNO3、HF、HClO4处理样品,稀盐酸浸取,完成硅铝钡、硅钙钡和硅钙钡铝铁合金中Al、Ba、Fe、Ca、Mn、Cu、Cr、Ni、P9种主次量元素成分的同时测定,方法的回收率达96%～104%,相对标准偏差〈1.5%,能够满足快速分析的要求。