【摘 要】
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研究表面,用片状硼微晶玻璃扩散源在一定的条件下也能形成B-Sis相层,并且只有在预沉积时形成B-Si相层且去掉这一相层进行主扩,才能获得高均匀性硼掺杂。本文研究了不同的工艺
【机 构】
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浙江大学电力电子技术研究所,浙江大学电力电子技术研究所,浙江大学电力电子技术研究所
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研究表面,用片状硼微晶玻璃扩散源在一定的条件下也能形成B-Sis相层,并且只有在预沉积时形成B-Si相层且去掉这一相层进行主扩,才能获得高均匀性硼掺杂。本文研究了不同的工艺条件对扩散均匀性的影响结果。
In the study of the surface, the B-Sis phase can be formed by the flaky boron glass-ceramic diffusion source under certain conditions, and the B-Si phase can be formed only during pre-deposition and the main phase is removed by removing the phase. High homogeneity boron doping. In this paper, the effects of different process conditions on the uniformity of diffusion are studied.
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