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多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力、提高涂层使用性能的方法.
多弧离子镀TiN涂层拉应力的探讨
【摘 要】
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多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力
【机 构】
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武汉汽车工业大学材料科学与工程系,武汉铜材厂
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2002年9期
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