【摘 要】
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首先建立缺陷空间分布和粒径分布的模型，并讨论了缺陷通过版图产生电路错误的过程，给出了ＩＣ功能成品率模拟器ＸＤ－ＹＥＳ的实现。用ＸＤ－ＹＥＳ对微电子测试图和实际ＩＣ的功能成品率模拟和分析表明，其结果与
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所，浙江大学微电子所
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首先建立缺陷空间分布和粒径分布的模型，并讨论了缺陷通过版图产生电路错误的过程，给出了ＩＣ功能成品率模拟器ＸＤ－ＹＥＳ的实现。用ＸＤ－ＹＥＳ对微电子测试图和实际ＩＣ的功能成品率模拟和分析表明，其结果与实际符合很好，从而表明ＸＤ－ＹＥＳ的可行性和实用性。
Firstly, the model of the spatial distribution of the defects and the distribution of the particle size is established. The process of generating the circuit errors through the layout is discussed, and the realization of the IC function yield simulator XD-YES is given. XD-YES on the microelectronics test chart and the actual function of the IC yield simulation and analysis shows that the results in good agreement with the actual, indicating the feasibility and practicality of XD-YES.
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